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              HMDS預處理烘箱的工作流程
              更新時間:2018-04-24 11:46:58

                HMDS的化學名稱為六甲基二硅胺或氮烷, 外觀是無色透明液體,無懸浮物及機械雜質。

                HMDS預處理烘箱主要用途:

                盤尼西林、頭孢霉素、氟尿嘧啶及各種青霉素衍生物等硅藻土、硅石、鈦等粉末的表面處理。半導體工業中光致刻蝕劑的粘結助劑。

                HMDS預處理烘箱與硅片反應機理:先加熱到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應,在硅片表而生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。

              HMDS預處理烘箱的工作流程:

                先確定HMDS預處理烘箱工作溫度。典型的預處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內真牢度達到某一高真空度后,開始充人氮氣,充到達到某低真空度后,再次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設定的充入氮氣次數后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后HMDS預處理烘箱再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達設定時間后,停止充入 HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業過程。

               

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